โซลูชันห้องคลีนรูมมาตรฐานไอเอสโอ 6
ประเด็นความรู้สำคัญสำหรับห้องคลีนรูม ISO 6
-
ระดับความสะอาด มาตรฐาน ISO 6 กำหนดให้จำนวนอนุภาคแขวนลอยขนาด 0.5 ไมโครเมตรต้องไม่เกิน 35,200 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตรของอากาศ ซึ่งเข้มงวดกว่า ISO 7 ถึง 10 เท่า วิธีการดำเนินการหลัก: การไหลของอากาศแบบ (กึ่ง) ทิศทางเดียว อากาศจะเคลื่อนที่ขนานกันในทิศทางเดียวด้วยความเร็วหน้าตัดที่สม่ำเสมอ (โดยทั่วไป 0.35-0.45 เมตร/วินาที) ทำหน้าที่เหมือน "ลูกสูบอากาศ" เพื่อขับไล่มลพิษออกจากพื้นที่ทำงานทันที แทนที่จะเพียงแค่เจือจางเท่านั้น
-
พารามิเตอร์การออกแบบที่สำคัญ: อัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศ: สูงมาก โดยทั่วไปอยู่ที่ 70-160 ครั้งต่อชั่วโมงหรือมากกว่า ขึ้นอยู่กับรูปแบบของห้องและภาระความร้อนจากอุปกรณ์ ความเร็วลม: ความเร็วลมเฉลี่ยในพื้นที่ทำงานต้องคงที่ที่ 0.35-0.45 เมตร/วินาที และมีความสม่ำเสมอและเสถียร การควบคุมความแตกต่างของความดัน: ต้องรักษาความดันบวกที่ +15 Pa ถึง +25 Pa เมื่อเทียบกับพื้นที่ระดับต่ำกว่าที่อยู่ติดกัน (เช่น ทางเดิน ISO 7) โดยต้องการความแม่นยำในการควบคุมที่สูงขึ้น การควบคุมอุณหภูมิและความชื้น: ต้องการความแม่นยำที่สูงขึ้น โดยทั่วไปคือ ±1°C สำหรับอุณหภูมิ และ ±5% สำหรับความชื้น
-
แนวคิดหลักของการออกแบบ: "การควบคุมและการกักเก็บ" • เป้าหมายคือการสร้างกำแพงอากาศสะอาดที่มองไม่เห็นและขนานกันในพื้นที่กระบวนการที่สำคัญ • องค์ประกอบการออกแบบทั้งหมด (อากาศจ่าย อากาศกลับ ผังพื้นที่ โครงสร้าง) ต้องทำหน้าที่รักษาการไหลของอากาศในทิศทางเดียวและสม่ำเสมอ
-
รูปแบบการนำไปใช้งานหลัก 2 รูปแบบ: FFU ปิดคลุมเต็มพื้นที่ + การไหลกลับผ่านพื้นยก (การไหลทิศทางเดียวแนวตั้ง): วิธีการที่คลาสสิกและน่าเชื่อถือที่สุด FFU ปิดคลุมเพดานทั้งหมด (อัตราการปิดคลุม >80%) และอากาศสะอาดไหลลงในแนวตั้ง เข้าสู่ช่องอากาศกลับผ่านพื้นยก ก่อให้เกิดการไหลแบบลูกสูบแนวตั้งที่สมบูรณ์แบบ การกำหนดค่านี้จะเป็นตัวเลือกที่ต้องการในเอกสารนี้ • FFU ปิดคลุมเต็มพื้นที่ + การไหลกลับผ่านผนังด้านข้าง (การไหลทิศทางเดียวกึ่งแนวตั้ง): ใช้เมื่อไม่สามารถติดตั้งพื้นยกได้ การจัดเรียงผนังอากาศกลับต้องได้รับการออกแบบอย่างระมัดระวังเพื่อให้แน่ใจว่ารูปแบบการไหลของอากาศเป็นแนวตั้งลงเป็นส่วนใหญ่
-
ความแตกต่างพื้นฐานจาก ISO 7: มันถูกยกระดับจาก "อุปกรณ์" สู่ "ผลงานชิ้นเอกแห่งการบูรณาการระบบ" ความสำเร็จของ ISO 6 ขึ้นอยู่กับการจับคู่อย่างสมบูรณ์แบบของระบบย่อยต่างๆ (โครงสร้าง ระบบปรับอากาศ ระบบควบคุม) และฝีมือการก่อสร้างที่สูงมาก
รายการการกำหนดค่ามาตรฐานของห้องคลีนรูมเชิงพาณิชย์ระดับ ISO Class 6
ขึ้นอยู่กับพื้นที่ 100 ตารางเมตร • การอัปเกรดสำหรับการไหลแบบทิศทางเดียว
ระบบฟอกอากาศและระบบปรับอากาศ (พื้นที่อัปเกรดหลัก)
| ไม่ | ระบบย่อย/อุปกรณ์ | ข้อกำหนดและเงื่อนไขทางเทคนิค (ISO 6) | ปริมาณ (100 ตร.ม.) และคำอธิบาย |
|---|---|---|---|
| ๑ | ชุดกรองอากาศพร้อมพัดลม (FFU) |
|
ปริมาณที่คำนวณได้จากอัตราการครอบคลุมและความเร็วลม จำเป็นต้องติดตั้ง FFU ให้ครอบคลุมเพดานเกือบทั้งหมด เพื่อให้มั่นใจว่าการไหลของอากาศเป็นไปในทิศทางเดียว |
| ๒ | โมดูลาร์แอร์แฮนด์ลิ่งยูนิต |
|
หนึ่งชุด MAU ดูแลกระบวนการอากาศบริสุทธิ์และการลดความชื้นเชิงลึก ส่วน RCU ดูแลความร้อนสัมผัส |
| ๓ | ระบบพื้นยกสูง |
|
การกำหนดค่ามาตรฐานสำหรับการไหลแบบทิศทางเดียวในแนวตั้งตามมาตรฐาน ISO 6 ช่วยให้เส้นทางการไหลกลับของอากาศมีความสม่ำเสมอ |
| ๔ | ห้องอาบน้ำแบบเป่าลม |
|
1-2 ชุด ขั้นตอนการปนเปื้อนที่จำเป็นสำหรับบุคลากรที่เข้าสู่พื้นที่ระดับสูง |
| ห้า | ระบบโอนย้ายสินค้า |
|
ต้องมีตู้อาบน้ำลมหรือหน้าต่างผ่านขนาดใหญ่อย่างน้อยหนึ่งชุด และต้องบังคับใช้มาตรฐานการทำให้วัสดุบริสุทธิ์อย่างเคร่งครัด |
ข. เปลือกอาคารและการตกแต่งภายใน (พื้นที่ยกระดับเทคโนโลยี)
| ไม่ | ชื่อโครงการ | วัสดุและข้อกำหนด (ISO 6) |
|---|---|---|
| ๑ | ผนังและเพดาน |
|
| ๒ | ดิน | ที่ระบบพื้นยกสูง(ดูด้านบน) เป็นส่วนประกอบหลัก พื้นที่ใต้พื้นต้องได้รับการบำบัดเพื่อป้องกันการเกิดหรือการสะสมของฝุ่น |
| ๓ | ประตู & วินโดวส์ |
|
| ๔ | ข้อกำหนดกระบวนการ |
|
ซี. ระบบตรวจสอบและควบคุม (พื้นที่อัปเกรดความแม่นยำ)
| ไม่ | ชื่ออุปกรณ์ | ข้อกำหนดด้านฟังก์ชันการทำงาน |
|---|---|---|
| ๑ | การตรวจวัดความเร็วลม | เซ็นเซอร์หลายตัวถูกติดตั้งในพื้นที่ทำงานสำคัญ เพื่อตรวจวัดความเร็วลมเฉลี่ยและความสม่ำเสมอของลม และใช้ควบคุมความเร็วของกลุ่ม FFU ตามค่าที่วัดได้ |
| ๒ | การควบคุมความดันแตกต่าง | การตรวจจับแบบหลายจุด ควบคุมการไหลของอากาศจ่ายและอากาศกลับอย่างแม่นยำผ่านแดมเปอร์ไฟฟ้า เพื่อรักษาความแตกต่างของความดันระหว่างห้องอย่างเคร่งครัด |
| ๓ | การตรวจสอบอย่างต่อเนื่อง | แนะนำให้ใช้เครื่องนับอนุภาคแบบออนไลน์เพื่อตรวจสอบอนุภาคขนาด 0.5μm และ 5.0μm แบบเรียลไทม์ พร้อมทั้งตั้งค่าระดับการแจ้งเตือน |
| ๔ | ระบบจัดการส่วนกลาง (BMS) | การกำหนดค่าที่จำเป็นประกอบด้วยพารามิเตอร์ทั้งหมด (อุณหภูมิ ความชื้น ความดัน การไหลของอากาศ อนุภาค) การบันทึกข้อมูล การแจ้งเตือน และการเข้าถึงระยะไกล |
