การกำหนดค่าห้องสะอาด ISO 7 (คลาส 10,000)
ออกแบบตามมาตรฐาน ISO 14644-1 และหลักการพื้นฐานของการฟอกอากาศ
มาตรฐานหลักและคำจำกัดความ
- ISO 14644-1:อนุภาคขนาด 0.5 ไมโครเมตร ≤ 352,000 ต่อลูกบาศก์เมตร
- อนุภาคขนาด 5 ไมครอน≤ 2,930/ลูกบาศก์เมตร
- มาตรฐานที่เทียบเท่า:"คลาส 10,000" ใน GB50073-2013
- หลักการสำคัญ:การเจือจางและการแทนที่ (การเจือจางอนุภาคผ่านการกรองด้วย HEPA)
พารามิเตอร์สิ่งแวดล้อมที่สำคัญ
- อัตราการระบายอากาศ:30-60 ครั้งต่อชั่วโมง (ขึ้นอยู่กับภาระความร้อนหรือกระบวนการ)
- การควบคุมแรงดัน:+10Pa ถึง +15Pa เมื่อเทียบกับพื้นที่ชั้นล่าง
- อุณหภูมิ/ความชื้น: 20-24°C (±2°C), 45%-55% (±5%)
- การส่องสว่างโดยทั่วไป 300 ลักซ์
การดำเนินการ: ความครอบคลุมของ FFU
- แนวทางแก้ไข:ชุด FFU (Fan Filter Unit) รวมกันเป็น "ชั้นกรองอากาศบนเพดาน"
- ข้อดี:การไหลเวียนอากาศสม่ำเสมอ ติดตั้งยืดหยุ่น ประสิทธิภาพพลังงานสูง
- สถานะ:วิธีหลักสำหรับคลีนรูม ISO 7
ระบบฟอกอากาศและระบบปรับอากาศ
*ปริมาณที่ประมาณการจากตัวอย่างห้องคลีนรูมขนาด 100 ตร.ม.
| ชื่ออุปกรณ์ | ข้อกำหนดและคุณสมบัติ | จำนวนโดยประมาณ | ฟังก์ชันและหมายเหตุ |
|---|---|---|---|
| หน่วยกรองอากาศแบบมีพัดลม (FFU) |
อุปกรณ์หลัก ขนาด: 1175x1175 มม. (โมดูลมาตรฐาน) ประสิทธิภาพ: H14 (≥99.995% @0.3μm) มอเตอร์: EC แบบไร้แปรงถ่าน (ประหยัดพลังงาน) ระดับเสียงรบกวน: ≤52 dB(A) |
ความครอบคลุม >80% | ให้การไหลเวียนอากาศจากบนลงล่างอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งจำเป็นต่อการรับประกันอัตราการระบายอากาศที่เพียงพอ |
| ชุดจัดการอากาศแบบโมดูลาร์ (AHU) | การไหลเวียนของอากาศ: ขึ้นอยู่กับค่า ACR (เช่น 12,600 ลบ.ม./ชม.) ส่วนประกอบ: ฟิลเตอร์ล่วงหน้า G4 + ระบบทำความเย็น/ทำความร้อน + การเพิ่มความชื้น + ฟิลเตอร์กลาง F8/F9 การควบคุม: VFD (ไดรฟ์ความถี่แปรผัน) |
1 หน่วย | "โปรเซสเซอร์" ของอากาศทำหน้าที่จัดการอากาศบริสุทธิ์ล่วงหน้า ควบคุมอุณหภูมิและความชื้น ก่อนส่งไปยัง FFUs |
| แอร์ชาเวอร์ | เครื่องเป่าลมแบบหลายชั้นสแตนเลส ความเร็วลม: ≥25 เมตร/วินาที คุณสมบัติ: ประตูแบบประสานกัน ระบบตรวจจับอัตโนมัติ |
1 ชุด | ช่องทางทำความสะอาดบุคลากรเพื่อกำจัดฝุ่นบนพื้นผิวก่อนเข้าห้องคลีนรูม |
| พาสบ็อกซ์ | สแตนเลส, หลอดฆ่าเชื้อด้วยรังสียูวี กลไกการล็อกแบบกลไกหรือแบบอิเล็กทรอนิกส์ |
ขั้นต่ำ 2 หน่วย | ช่องทางถ่ายโอนวัสดุช่วยป้องกันการไหลของอากาศโดยตรงและการปนเปื้อนข้ามระหว่างการถ่ายโอน |
| ระบบหมุนเวียนอากาศ | ตะแกรงเดี่ยว/คู่พร้อมแผ่นกรองขั้นต้น | กระจายอย่างเท่าเทียม | ติดตั้งที่ด้านล่างของผนังเพื่อให้อากาศไหลเวียนและถ่ายเทได้อย่างราบรื่น |
2. ระบบตู้และระบบตกแต่งพื้นผิว
| รายการ | วัสดุและข้อกำหนด | ฟังก์ชันและหมายเหตุ |
|---|---|---|
| ผนังและเพดาน | แผ่นเหล็กเคลือบสี (แกนร็อควูล/แมกนีเซียมออกไซด์) ความหนา ≥50 มม. เรียบลื่น ทนทานต่อการกัดกร่อน ทำความสะอาดง่าย |
สร้างพื้นที่ปิดผนึก ฝ้าเพดานต้องรับน้ำหนักของ FFU และรักษาสภาพการกันอากาศเข้าไว้ |
| พื้น | แผ่นพีวีซีเนื้อเดียวกัน หรือพื้นอีพ็อกซี่ปรับระดับเอง ป้องกันไฟฟ้าสถิต ทนทานต่อการสึกหรอ ไร้รอยต่อ |
ปราศจากฝุ่นและป้องกันการลื่นไถล คุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิตมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ |
| ประตูและหน้าต่าง | ประตูและหน้าต่างระบบปิดผนึกสุญญากาศ กระจกสองชั้น | ลดการรั่วไหลของอากาศเพื่อรักษาแรงดันบวก |
| มุมโค้ง | อลูมิเนียมมุมโค้ง R (ผนังถึงพื้น, ผนังถึงผนัง) | ขจัดมุมอับเพื่อให้ทำความสะอาดและบำรุงรักษาได้ง่ายยิ่งขึ้น |
ระบบตรวจสอบและควบคุม
| ชื่ออุปกรณ์ | ข้อกำหนดด้านฟังก์ชันการทำงาน |
|---|---|
| เซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิและความชื้น | การตรวจสอบแบบเรียลไทม์พร้อมการส่งข้อมูลป้อนกลับไปยัง AHU เพื่อการปรับเปลี่ยนอัตโนมัติ |
| เกจวัดความดันแตกต่าง | แสดงค่าความแตกต่างของความดันระหว่างห้องคลีนรูม ภายนอก และพื้นที่ใกล้เคียงแบบดิจิทัล |
| เครื่องนับอนุภาค | แบบพกพาหรือแบบออนไลน์สำหรับการตรวจสอบระดับความสะอาดเป็นประจำ |