การกำหนดค่าห้องสะอาด ISO 7 (คลาส 10,000)
ออกแบบตามมาตรฐาน ISO 14644-1 และหลักการฟอกอากาศพื้นฐาน
มาตรฐานหลักและคำจำกัดความ
- ISO 14644-1:0.5μm อนุภาค ≤ 352,000/ลบ.ม.
- อนุภาคขนาด 5 ไมครอน≤ 2,930/ลูกบาศก์เมตร
- มาตรฐานเทียบเท่า:"คลาส 10,000" ใน GB50073-2013
- หลักการสำคัญ:การเจือจางและการแทนที่ (การเจือจางอนุภาคผ่านการกรองด้วย HEPA)
ค่าพารามิเตอร์สิ่งแวดล้อมที่สำคัญ
- อัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศ:30-60 ครั้ง/ชั่วโมง (ขึ้นอยู่กับภาระความร้อน/กระบวนการ)
- การควบคุมแรงดัน:+10Pa ถึง +15Pa เมื่อเทียบกับพื้นที่ชั้นล่าง
- อุณหภูมิ/ความชื้น: 20-24°C (±2°C), 45%-55% (±5%)
- การส่องสว่าง:โดยทั่วไป 300 ลักซ์
การดำเนินการ: ความครอบคลุมของ FFU
- แนวทางแก้ไข:ชุด FFU (Fan Filter Unit) รวมกันเป็น "ชั้นกรองอากาศบนเพดาน"
- ข้อดี:การไหลเวียนอากาศสม่ำเสมอ ติดตั้งยืดหยุ่น ประสิทธิภาพพลังงานสูง
- สถานะ:วิธีหลักสำหรับคลีนรูม ISO 7
ระบบฟอกอากาศและระบบปรับอากาศ
*ปริมาณที่ประมาณจากตัวอย่างห้องคลีนรูมขนาด 100 ตร.ม.
| ชื่ออุปกรณ์ | ข้อกำหนดและคุณสมบัติ | จำนวนโดยประมาณ | ฟังก์ชันและหมายเหตุ |
|---|---|---|---|
| FFU (Fan Filter Unit) |
อุปกรณ์หลัก ขนาด: 1175x1175 มม. (โมดูลมาตรฐาน) ประสิทธิภาพ: H14 (≥99.995% @0.3μm) มอเตอร์: EC แบบไร้แปรงถ่าน (ประหยัดพลังงาน) เสียงรบกวน: ≤52 dB(A) |
ความครอบคลุม >80% | ให้การไหลเวียนอากาศจากบนลงล่างอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งมีความสำคัญต่อการรับประกันอัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศที่เพียงพอ |
| โมดูลาร์ AHU (ชุดจัดการอากาศ) | การไหลของอากาศ: ขึ้นอยู่กับ ACR (เช่น 12,600 ลบ.ม./ชม.) ส่วนประกอบ: ฟิลเตอร์ล่วงหน้า G4 + ระบบทำความเย็น/ทำความร้อน + การเพิ่มความชื้น + ฟิลเตอร์กลาง F8/F9 ควบคุม: VFD (ไดรฟ์ความถี่แปรผัน) |
1 หน่วย | "โปรเซสเซอร์" ของอากาศ ทำหน้าที่จัดการอากาศบริสุทธิ์ล่วงหน้า ควบคุมอุณหภูมิและความชื้น ก่อนส่งไปยัง FFUs |
| แอร์ชาเวอร์ | เครื่องเป่าลมคู่/สามชั้น สแตนเลส ความเร็วลม: ≥25 เมตร/วินาที คุณสมบัติ: ประตูแบบประสานกัน, ระบบตรวจจับอัตโนมัติ |
1 ชุด | ช่องทางทำความสะอาดบุคลากรเพื่อกำจัดฝุ่นบนพื้นผิวก่อนเข้าห้องคลีนรูม |
| พาสบ็อกซ์ | สแตนเลส, หลอดฆ่าเชื้อด้วยรังสียูวี กลไกการล็อกแบบกลไกหรืออิเล็กทรอนิกส์ |
ขั้นต่ำ 2 หน่วย | ช่องทางถ่ายโอนวัสดุ ป้องกันการไหลของอากาศโดยตรงและการปนเปื้อนข้ามระหว่างการถ่ายโอน |
| ระบบส่งกลับอากาศ | ตะแกรงเดี่ยว/คู่พร้อมแผ่นกรองขั้นต้น | กระจายอย่างเท่าเทียม | ติดตั้งที่ด้านล่างของผนังเพื่อให้อากาศไหลเวียนและถ่ายเทได้อย่างราบรื่น |
2. ระบบตู้และระบบตกแต่งพื้นผิว
| รายการ | วัสดุและข้อกำหนด | ฟังก์ชันและหมายเหตุ |
|---|---|---|
| ผนังและเพดาน | แผ่นเหล็กเคลือบสี (แกนร็อควูล/แมกนีเซียมออกไซด์) ความหนา ≥50 มม. เรียบลื่น ทนทานต่อการกัดกร่อน ทำความสะอาดง่าย |
ก่อให้เกิดพื้นที่ปิดผนึก ฝ้าเพดานต้องรองรับน้ำหนักของ FFU และคงสภาพการกันอากาศเข้า |
| พื้น | แผ่นพีวีซีเนื้อเดียวกัน หรือพื้นอีพ็อกซี่ปรับระดับเอง ป้องกันไฟฟ้าสถิต ทนทานต่อการสึกหรอ ไร้รอยต่อ |
ไร้ฝุ่นและกันลื่น คุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิตมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ |
| ประตูและหน้าต่าง | ประตู/หน้าต่างระบบปิดผนึกสุญญากาศ กระจกสองชั้น | ลดการรั่วไหลของอากาศเพื่อรักษาแรงดันบวก |
| โค้ง (มุม) | อลูมิเนียมมุมโค้ง R (ผนังถึงพื้น, ผนังถึงผนัง) | ขจัดมุมอับเพื่อการทำความสะอาดและบำรุงรักษาที่ง่ายดายยิ่งขึ้น |
3. ระบบตรวจสอบและควบคุม
| ชื่ออุปกรณ์ | ข้อกำหนดด้านฟังก์ชันการทำงาน |
|---|---|
| เซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิและความชื้น | การตรวจสอบแบบเรียลไทม์พร้อมการส่งข้อมูลป้อนกลับไปยัง AHU เพื่อการปรับเปลี่ยนอัตโนมัติ |
| เกจวัดความดันแตกต่าง | แสดงค่าความแตกต่างของความดันระหว่างห้องคลีนรูม ภายนอก และพื้นที่ใกล้เคียงแบบดิจิทัล |
| เครื่องนับอนุภาค | แบบพกพาหรือแบบออนไลน์สำหรับการตรวจสอบระดับความสะอาดเป็นประจำ |