Konfigurasi Ruang Bersih ISO 7 (Kelas 10.000)
Dirancang berdasarkan Standar ISO 14644-1 & Prinsip Pemurnian Inti
Standar Inti & Definisi
- ISO 14644-1:Partikel 0,5μm ≤ 352.000/m³
- Partikel 5μm:≤ 2.930/m³
- Standar Setara:"Kelas 10.000" dalam GB50073-2013
- Prinsip Inti:Dilusi & Displacement (Mengencerkan partikel melalui filtrasi HEPA)
Parameter Lingkungan Utama
- Tingkat Pergantian Udara:30-60 kali/jam (Tergantung pada beban panas/proses)
- Kontrol Tekanan:+10Pa hingga +15Pa relatif terhadap area kelas bawah
- Suhu/Kelembaban: 20-24°C (±2°C), 45%-55% (±5%)
- Penerangan:Biasanya 300 Lux
Implementasi: Cakupan FFU
- Solusi:Susunan FFU (Fan Filter Unit) membentuk "lapisan filtrasi langit-langit".
- Kelebihan:Aliran udara seragam, pemasangan fleksibel, efisiensi energi tinggi
- Status:Metode utama untuk ruang bersih ISO 7
1. Sistem Pemurnian Udara & HVAC
*Jumlah diperkirakan berdasarkan contoh ruang bersih seluas 100㎡
| Nama Perangkat | Spesifikasi & Persyaratan | Perkiraan Jumlah | Fungsi & Keterangan |
|---|---|---|---|
| FFU (Fan Filter Unit) |
Perangkat Inti Ukuran: 1175x1175mm (Modul Standar) Efisiensi: H14 (≥99,995% @0,3μm) Motor: EC Brushless DC (Hemat Energi) Kebisingan: ≤52 dB(A) |
Cakupan >80% | Menyediakan aliran udara seragam dari atas ke bawah; penting untuk memastikan tingkat pergantian udara yang memadai. |
| Unit Penanganan Udara Modular | Aliran Udara: Berdasarkan ACR (misalnya, 12.600 m³/jam) Bagian: Pre-filter G4 + Pendingin/Pemanas + Pelembapan + Mid-filter F8/F9 Kontrol: VFD (Variable Frequency Drive) |
1 Unit | "Prosesor" udara. Menangani pra-perawatan udara segar, kontrol suhu, dan kelembapan sebelum disuplai ke FFU. |
| Pancuran Udara | Blower ganda/tiga, Baja Tahan Karat Kecepatan Udara: ≥25 m/s Fitur: Pintu saling mengunci, Induksi otomatis |
1 Set | Saluran pemurnian personel untuk menghilangkan debu permukaan sebelum memasuki ruang bersih. |
| Kotak Lulus | Baja tahan karat, Lampu Sterilisasi UV Interlock Mekanis atau Elektronik |
Minimal 2 Unit | Saluran transfer material; mencegah aliran udara langsung dan kontaminasi silang selama transfer. |
| Sistem Udara Kembali | Kisi-kisi satu/dua lapis dengan filter primer | Tersebar Merata | Terletak di bagian bawah dinding untuk memastikan aliran dan sirkulasi udara yang lancar. |
2. Sistem Enclosure & Finishing
| Barang | Bahan & Persyaratan | Fungsi & Keterangan |
|---|---|---|
| Dinding & Langit-langit | Panel baja berlapis warna (inti Rock wool/Mg-O), ketebalan ≥50mm Halus, tahan karat, mudah dibersihkan |
Membentuk ruang tertutup rapat. Langit-langit harus menopang berat FFU dan tetap kedap udara. |
| Lantai | Lembaran PVC homogen atau Epoxy self-leveling Anti-statis, tahan aus, mulus |
Bebas debu dan anti-selip. Sifat anti-statis sangat penting untuk manufaktur elektronik. |
| Pintu & Jendela | Pintu/jendela kedap udara, kaca ganda | Mengurangi kebocoran udara untuk mempertahankan tekanan positif. |
| Coving (Sudut) | Sudut-R Aluminium (Dinding-ke-Lantai, Dinding-ke-Dinding) | Menghilangkan sudut mati untuk pembersihan dan perawatan yang lebih mudah. |
3. Sistem Monitoring & Kontrol
| Nama Perangkat | Persyaratan Fungsional |
|---|---|
| Sensor Suhu & Kelembaban | Pemantauan waktu nyata dengan umpan balik ke AHU untuk penyesuaian otomatis. |
| Pengukur Tekanan Diferensial | Secara digital menampilkan perbedaan tekanan antara ruang bersih, area luar, dan area sekitarnya. |
| Penghitung Partikel | Tipe portabel atau online untuk verifikasi rutin tingkat kebersihan. |