Ikhtisar Standar Ruang Bersih di Elektronika
Tingkat kebersihan udara yang diperlukan untuk lingkungan manufaktur sirkuit terpadu terutama bergantung pada tingkat integrasi sirkuit terpadu tersebut. Tingkat kebersihan udara untuk berbagai proses ditentukan berdasarkan probabilitas kontaminasi potensial dan potensi kegagalan perangkat.
Sebagai contoh, dalam proses fotolitografi, wafer silikon terpapar pada lingkungan produksi, dan kemungkinan kontaminasi yang tinggi menyebabkan tingkat cacat yang tinggi. Oleh karena itu, untuk mencegah bahaya ini, lingkungan mikro biasanya digunakan di ruang bersih untuk sirkuit terpadu skala ultra-besar. Area proses inti diisolasi, dan tingkat kebersihan udara yang diperlukan serta persyaratan pengendalian lingkungan (suhu, kelembaban relatif, dan tekanan) dicapai di dalam lingkungan mikro yang terisolasi.
Klasifikasi ISO & Parameter Aliran Udara
| Kelas ISO | Tipe Aliran Udara | Kecepatan Aliran Udara Rata-rata (m/s) | Perubahan Udara/Jam | Contoh Aplikasi |
|---|---|---|---|---|
| 2 | U (Searah) | 0,3 ~ 0,5 | Tidak tersedia | Area fotolitografi dan pemrosesan semikonduktor |
| 3 | U (Searah) | 0,3 ~ 0,5 | Tidak tersedia | Area kerja, area pemrosesan semikonduktor |
| 4 | U (Searah) | 0,3 ~ 0,5 | Tidak tersedia | Area kerja, pemrosesan masker multi-lapis, manufaktur disk kepadatan tinggi |
| 5 | U (Searah) | 0,2 ~ 0,5 | Tidak tersedia | Area utilitas, area pemrosesan bertingkat, area layanan semikonduktor |
| 6 | M (Campuran) | 0,1 ~ 0,3 | — | Area layanan, perawatan permukaan |
| — | N/M (Non-U/Campuran) | Tidak tersedia | 70 ~ 160 | — |
| 7 | N/M | Tidak tersedia | 30 ~ 70 | Area layanan |
| 8 | N/M | Tidak tersedia | 10 ~ 20 | Area layanan |
Konfigurasi Inti Ruang Bersih ISO Kelas 6
Lembar konfigurasi ini cocok untuk bengkel produksi ISO 6 yang khas di industri elektronik.
A. Sistem Pemurnian Udara dan Manajemen Aliran Udara
1. Unit Filter Kipas (FFU)
- Filter:Filter HEPA H13/H14 (efisiensi ≥99,97%/99,995% untuk partikel 0,3μm).
- Cakupan:60% - 85% (dapat disesuaikan berdasarkan beban panas/tata letak).
- Motor:Motor EC direkomendasikan untuk efisiensi energi.
- Pengaturan:Pola kisi-kisi seragam di langit-langit.
Tujuan:Menyediakan sumber udara bersih dan daya ventilasi sangat penting untuk menjaga kebersihan.
2. Sistem Udara Kembali
- Metode Utama:Kembalikan kolom udara atau kisi-kisi di bagian bawah dinding samping.
- Optimasi:Lantai yang ditinggikan secara lokal (20-30% area) untuk area dengan aliran udara tinggi.
- Persyaratan:Aliran udara balik tanpa hambatan dan tanpa zona mati.
Tujuan:Memastikan aliran udara dari atas ke bawah untuk menghilangkan polutan secara efektif. Lantai yang ditinggikan secara lokal meningkatkan keseragaman.
3. Unit Penanganan Udara Modular (AHU)
- Laju Aliran Udara:Dihitung berdasarkan 50-70 pergantian udara per jam.
- Bagian:Pre-filter (G4) + Pendinginan + Pemanasan + Humidifier + Kipas + Efisiensi menengah (F8/F9).
- Kontrol:VFD untuk kipas merespons perubahan beban di dalam ruangan.
Tujuan:Menangani beban udara segar dan sebagian besar beban panas sensible/laten dalam ruangan; menyediakan udara yang dikondisikan ke FFU.
4. Sistem Udara Segar
- Jenis:MAU independen atau terintegrasi ke dalam AHU.
- Pra-perawatan:Harus mencakup dehumidifikasi dalam dan filtrasi kimia.
Tujuan:Pastikan tekanan positif di dalam ruangan dan sediakan udara segar. Dehumidifikasi mendalam adalah kunci untuk mengendalikan kelembapan.
B. Struktur Enklosur dan Sistem Finishing
Dinding dan Langit-langit
- Bahan:Panel baja berlapis warna (inti rock wool/magnesium oksida), ketebalan ≥50mm.
- Permukaan:Anti-statis, tahan korosi, mudah dibersihkan.
- Langit-langit.Harus mampu menahan beban FFU.
Lantai (Penutup Lantai)
- Opsi:Lembaran PVC anti-statis atau lantai self-leveling Epoxy.
- Resistensi: 10⁵ - 10⁹ Ω.
- Persyaratan:Pentanahan diperlukan.
Pintu dan Jendela
- Jenis:Pintu baja yang bersih dan kedap udara (dengan jendela) serta jendela tetap aluminium.
- Penyegelan:Kedap udara terjamin; kusen pintu dilengkapi dengan strip penyegel.
Detail Lainnya
- Sudut:Semua sudut interior/eksterior dibulatkan (R≥50mm).
- Penetrasi:Semua penetrasi pipa yang menembus dinding harus disegel secara ketat.
Persyaratan Konfigurasi Khusus
1. Strategi Pasokan Udara Berdasarkan Zona Risiko
- Area Kerja:Pastikan cakupan/kecepatan FFU yang memadai tepat di atas jalur produksi.
- Lorong-lorong:Kepadatan FFU dapat dikurangi di area lorong/penyimpanan untuk menghemat energi.
- Laminar Flow Hoods:Gunakan tudung ISO 5 di latar belakang ISO 6 untuk titik-titik kritis (misalnya, inspeksi optik).
2. Manajemen Material dan Personel yang Ketat
- Air Shower:Untuk ≥2 orang, kecepatan angin ≥25m/s, waktu 20-30 detik.
- Pass-through:Penguncian mekanis dan sterilisasi UV untuk material.
- Jalur Aliran:Jalur yang bersih untuk mencegah kontaminasi silang; ganti sepatu/loker di pintu masuk.