Aperçu des normes de salle blanche dans l'électronique
Le niveau de propreté de l'air requis pour les environnements de fabrication de circuits intégrés dépend principalement du niveau d'intégration des circuits intégrés. Les niveaux de propreté de l'air pour différents procédés sont déterminés en fonction de la probabilité de contamination potentielle et du risque de défaillance des dispositifs.
Par exemple, dans le processus de photolithographie, la tranche de silicium est exposée à l'environnement de production, et une forte probabilité de contamination entraîne un taux de défauts élevé. Par conséquent, pour prévenir ce risque, des microenvironnements sont couramment utilisés dans les salles blanches pour les circuits intégrés à très grande échelle. La zone de processus centrale est isolée, et le niveau de propreté de l'air requis ainsi que les exigences de contrôle environnemental (température, humidité relative et pression) sont atteints à l'intérieur du microenvironnement isolé.
Classification ISO et paramètres de débit d'air
| Classe ISO | Type de flux d'air | Vitesse moyenne du flux d'air (m/s) | Changements d'air/h | Exemples d'application |
|---|---|---|---|---|
| 2 | U (Unidirectionnel) | 0,3 ~ 0,5 | N/A | Zone de photolithographie et de traitement des semi-conducteurs |
| 3 | U (Unidirectionnel) | 0,3 ~ 0,5 | N/A | Zone de travail, zone de traitement des semi-conducteurs |
| 4 | U (Unidirectionnel) | 0,3 ~ 0,5 | N/A | Zone de travail, traitement de masques multicouches, fabrication de disques à haute densité |
| 5 | U (Unidirectionnel) | 0,2 ~ 0,5 | N/A | Zone utilitaire, zone de traitement multi-étages, zone de services pour semi-conducteurs |
| 6 | M (Mixte) | 0,1 ~ 0,3 | — | Zone de service, traitement de surface |
| — | N/M (Non-U/Mixte) | N/A | 70 ~ 160 | — |
| 7 | N/M | N/A | 30 ~ 70 | Zone de service |
| 8 | N/M | N/A | 10 ~ 20 | Zone de service |
Configuration de base de la salle blanche de classe ISO 6
Cette fiche de configuration est adaptée à un atelier de production typique ISO 6 dans l'industrie électronique.
A. Système de purification d'air et de gestion du flux d'air
1. Unité de filtration ventilateur (FFU)
- Filtres :Filtres HEPA H13/H14 (efficacité ≥99,97 %/99,995 % pour les particules de 0,3 μm).
- Couverture :60 % - 85 % (réglable en fonction de la charge thermique/de la disposition).
- Moteur :Moteurs EC recommandés pour l'efficacité énergétique.
- Arrangement :Motif de grille uniforme au plafond.
Objectif :Fournir une source d'air pur et une puissance de ventilation est crucial pour maintenir la propreté.
2. Système de retour d'air
- Méthode principale :Retour d'air par colonnes ou persiennes dans la partie inférieure des parois latérales.
- Optimisation :Plancher surélevé localisé (20-30 % de la surface) pour les zones à fort flux d'air.
- Exigence :Retour d'air sans obstruction et sans zones mortes.
Objectif :Assure un flux d'air de haut en bas pour éliminer efficacement les polluants. Un revêtement de sol surélevé localisé améliore l'uniformité.
3. Unité de traitement d'air modulaire (UTA)
- Débit d'air :Calculé sur la base de 50 à 70 renouvellements d'air par heure.
- Sections :Préfiltre (G4) + Refroidissement + Chauffage + Humidificateur + Ventilateur + Haute efficacité moyenne (F8/F9).
- Contrôle :Variateur de fréquence pour que le ventilateur réponde aux variations de charge intérieure.
Objectif :Gère la charge d'air neuf et la plupart des charges thermiques sensibles/latentes intérieures ; fournit de l'air conditionné aux FFUs.
4. Système d'air frais
- Type :MAU indépendant ou intégré dans une CTA.
- Prétraitement :Doit inclure une déshumidification profonde et une filtration chimique.
Objectif :Assurez une pression intérieure positive et apportez de l'air frais. Une déshumidification poussée est essentielle pour contrôler l'humidité.
B. Structure de l'enceinte et système de finition
Murs et plafonds
- Matériau :Panneaux en acier prélaqué (âme en laine de roche/oxyde de magnésium), d'une épaisseur ≥50 mm.
- Surface :Antistatique, résistant à la corrosion, facile à nettoyer.
- Plafond :Doit supporter le poids des FFUs.
Sol (Revêtement de sol)
- Options :Feuille PVC antistatique ou sol en résine époxy autolissant.
- Résistance : 10⁵ - 10⁹ Ω.
- Exigence :La mise à la terre est requise.
Portes et Fenêtres
- Type :Portes en acier propres et hermétiques (avec fenêtres) et fenêtres fixes en aluminium.
- Scellement :Étanchéité à l'air assurée ; cadres de porte équipés de joints d'étanchéité.
Autres détails
- Pièces :Tous les coins intérieurs/extérieurs sont arrondis (R≥50mm).
- Pénétrations :Toutes les pénétrations de tuyaux à travers les murs doivent être strictement scellées.
Exigences de configuration spéciales
1. Stratégie d’alimentation en air par zones basée sur les risques
- Zones de travail :Assurez une couverture/vitesse FFU suffisante directement au-dessus des lignes de production.
- Passageways :La densité des FFU peut être réduite dans les couloirs/zones de stockage pour économiser de l'énergie.
- Hottes à flux laminaire :Utilisez des hottes ISO 5 dans des environnements ISO 6 pour les points critiques (par exemple, inspection optique).
2. Gestion stricte des matériaux et du personnel
- Douche à air :Pour ≥2 personnes, vitesse du vent ≥25 m/s, durée 20-30 s.
- Pass-through:Verrouillage mécanique et stérilisation UV pour les matériaux.
- Chemins d'écoulement :Dégager les voies pour éviter la contamination croisée ; vestiaires/changement de chaussures à l'entrée.