Конфигурация чистого помещения класса ISO 7 (класс 10 000)
Спроектировано на основе стандартов ISO 14644-1 и основных принципов очистки.
Основные стандарты и определения
- ISO 14644-1:0,5 мкм частицы ≤ 352 000/м³
- 5 мкм частицы:≤ 2,930/м³
- Эквивалентный стандарт:«Класс 10 000» по стандарту GB50073-2013
- Основной принцип:Разбавление и вытеснение (разбавление частиц с помощью HEPA-фильтрации)
Ключевые экологические параметры
- Кратность воздухообмена:30-60 раз/час (в зависимости от тепловой нагрузки/процесса)
- Регулирование давления:от +10 Па до +15 Па относительно зон низшего класса
- Температура/Влажность: 20-24°C (±2°C), 45%-55% (±5%)
- Освещение:Обычно 300 люкс
Реализация: покрытие FFU
- Решение:Массив FFU (вентиляторных фильтрующих блоков) образует «потолочный фильтрационный слой».
- Преимущества:Равномерный поток воздуха, гибкая установка, высокая энергоэффективность
- Статус:Основной метод для чистых помещений класса ISO 7
1. Система очистки воздуха и ОВиК
*Количество оценено на примере чистой комнаты площадью 100 м²
| Название устройства | Технические характеристики и требования | Расчетное кол-во | Функция и примечания |
|---|---|---|---|
| FFU (Fan Filter Unit) |
Основное устройство Размер: 1175x1175 мм (стандартный модуль) Эффективность: H14 (≥99,995% @0,3 мкм) Мотор: бесщеточный двигатель постоянного тока с электронной коммутацией (энергосберегающий) Шум: ≤52 дБ(А) |
Покрытие >80% | Обеспечивает равномерный нисходящий поток воздуха; критически важен для обеспечения достаточной кратности воздухообмена. |
| Модульная приточная установка (AHU) | Воздушный поток: на основе ACR (например, 12 600 м³/ч) Секции: предварительный фильтр G4 + охлаждение/нагрев + увлажнение + средний фильтр F8/F9 Управление: ПЧ (преобразователь частоты) |
1 единица | «Процессор» воздуха. Осуществляет предварительную обработку свежего воздуха, контроль температуры и влажности перед подачей в FFU. |
| Воздушный душ | Двойной/тройной обдув, нержавеющая сталь Скорость воздуха: ≥25 м/с Особенности: Блокирующиеся двери, автоматическая индукция |
1 Набор | Персональный канал очистки для удаления поверхностной пыли перед входом в чистую комнату. |
| Передаточное окно | Нержавеющая сталь, УФ-лампа для стерилизации Механическая или электронная блокировка |
Минимум 2 единицы | Канал передачи материалов; предотвращает прямой поток воздуха и перекрестное загрязнение во время передачи. |
| Система возврата воздуха | Решетки одно-/двухслойные с фильтром первичной очистки | Равномерно распределено | Расположены в нижней части стен для обеспечения плавного потока воздуха и циркуляции. |
2. Система корпуса и финишной обработки
| Товар | Материалы и требования | Функция и примечания |
|---|---|---|
| Стены и потолок | Цветные стальные панели (с наполнителем из минеральной ваты/оксида магния), толщина ≥50 мм Гладкая, коррозионно-стойкая, легко очищается |
Формирует герметичное пространство. Потолок должен выдерживать вес FFU и оставаться воздухонепроницаемым. |
| Напольное покрытие | ПВХ гомогенный лист или эпоксидный наливной пол Антистатический, износостойкий, бесшовный |
Без пыли и противоскользящее. Антистатические свойства имеют решающее значение для производства электроники. |
| Двери и окна | Герметичные двери/окна с очисткой воздуха, двойное остекление | Снижает утечку воздуха для поддержания положительного давления. |
| Ковинг (Углы) | Алюминиевые R-уголки (стена-пол, стена-стена) | Устраняет мёртвые зоны для облегчения очистки и обслуживания. |
3. Система мониторинга и управления
| Название устройства | Функциональные требования |
|---|---|
| Датчики температуры и влажности | Мониторинг в реальном времени с обратной связью на AHU для автоматической регулировки. |
| Дифференциальный манометр | Цифровое отображение разницы давления между чистой комнатой, внешней средой и смежными зонами. |
| Счетчик частиц | Портативный или онлайн-тип для регулярной проверки уровней чистоты. |