Стандартные решения для чистых помещенийISO6
Ключевые знания о чистых помещениях класса ISO 6
-
Уровень чистоты Стандарт ISO 6 требует, чтобы количество взвешенных частиц размером 0,5 мкм не превышало 35 200 на кубический метр воздуха. Это в 10 раз строже, чем ISO 7. Основной метод реализации: (квази)однонаправленный поток. Воздушный поток движется параллельно в одном направлении с равномерной поперечной скоростью (обычно 0,35–0,45 м/с), действуя как «воздушный поршень», мгновенно удаляя загрязнения из рабочей зоны, а не просто разбавляя их.
-
Ключевые параметры конструкции: Кратность воздухообмена: чрезвычайно высокая, обычно 70–160 воздухообменов в час или более, в зависимости от планировки помещения и тепловой нагрузки оборудования. Скорость потока: средняя скорость воздуха в поперечном сечении рабочей зоны должна поддерживаться на уровне 0,35–0,45 м/с и оставаться равномерной и стабильной. Контроль перепада давления: поддерживается избыточное давление от +15 Па до +25 Па по отношению к смежным помещениям более низкого класса (например, коридоры класса ISO 7), с повышенными требованиями к точности регулирования. Контроль температуры и влажности: требуется повышенная точность, обычно ±1 °C по температуре и ±5 % по влажности.
-
Основная концепция дизайна: «Контроль и сдерживание» • Цель — создать невидимый параллельный барьер чистого воздуха в критических зонах процесса. • Все элементы конструкции (подача воздуха, вытяжка, планировка, структура) должны служить поддержанию однонаправленного и равномерного потока воздуха.
-
2 основные схемы реализации: FFU полное покрытие + возврат через фальшпол (вертикальный однонаправленный поток): Самый классический и надежный метод. FFU покрывают весь потолок (коэффициент покрытия >80%), чистый воздух движется вертикально вниз, попадая в возвратную воздушную камеру через фальшпол, образуя идеальный вертикальный поршневой поток. Данная конфигурация будет предпочтительным вариантом в этом документе. • FFU полное покрытие + возврат через боковые стены (квазивертикальный однонаправленный поток): Используется, когда установка фальшпола невозможна. Расположение возвратной воздушной стены должно быть тщательно спроектировано, чтобы обеспечить преимущественно вертикальное направление воздушного потока.
-
Основное отличие от ISO 7: Оно было модернизировано с уровня «устройства» до «шедевра системной интеграции». Успех ISO 6 во многом зависит от идеального согласования различных подсистем (конструкции, кондиционирования, управления) и чрезвычайно высокого качества строительных работ.
Коммерческая чистая комната ISO класса 6 — список стандартной комплектации
На основе площади 100 м² • Модернизация для однонаправленного потока
А. Система очистки воздуха и ОВиК (Основная зона модернизации)
| Нет. | Подсистема/Устройство | Технические характеристики и требования (ISO 6) | Количество (100 м²) и пояснение |
|---|---|---|---|
| 1 | Фильтровентиляционный блок (ФВБ) |
|
Количество рассчитано на основе коэффициента покрытия и скорости ветра. FFU должны почти полностью покрывать потолок для обеспечения однонаправленного воздушного потока. |
| 2 | Модульная приточная установка |
|
Один набор. Обрабатывает свежий воздух и выполняет глубокое осушение (MAU), в то время как RCU обрабатывает явное тепло. |
| 3 | Фальшпол |
|
Характерная конфигурация для ISO 6 вертикального однонаправленного потока. Обеспечивает равномерный путь обратного воздушного потока. |
| 4 | Воздушный душ |
|
1-2 подхода. Обязательный этап дезактивации для персонала, входящего в зоны высокого уровня. |
| 5 | Система передачи предметов |
|
Требуется как минимум один воздушный душ или большое проходное окно. Строго соблюдаются стандарты очистки материалов. |
Б. Ограждающие конструкции и внутренняя отделка (зона модернизации технологий)
| Нет. | Название проекта | Материалы и требования (ISO 6) |
|---|---|---|
| 1 | Стены и потолки |
|
| 2 | Земля | The Фальшпол(см. выше) является основным компонентом. Зона подполья должна быть обработана для предотвращения образования/накопления пыли. |
| 3 | Двери & Окна |
|
| 4 | Требования к процессу |
|
Системы мониторинга и управления (Зона модернизации точности)
| Нет. | Название устройства | Функциональные требования |
|---|---|---|
| 1 | Мониторинг скорости ветра | В критических рабочих зонах установлено несколько датчиков для контроля средней скорости и равномерности, с соответствующим регулированием скорости группы FFU. |
| 2 | Регулирование перепада давления | Многоточечное измерение. Обеспечивает точное регулирование подачи/вытяжки воздуха с помощью электрических заслонок для поддержания строгих перепадов давления между помещениями. |
| 3 | Непрерывный мониторинг | Онлайн-счетчики частиц настоятельно рекомендуются для мониторинга частиц размером 0,5 мкм и 5,0 мкм в реальном времени с порогами тревоги. |
| 4 | Центральное управление (BMS) | Обязательная конфигурация. Интегрирует все параметры (температура, влажность, давление, поток воздуха, частицы), ведение журнала, сигнализацию и удаленный доступ. |
